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全封閉直線電機(jī)模組

行程（可定制）800mm的直線電機(jī)全封閉模組。采用獨(dú)特的密封方案，與傳統(tǒng)的上部鋼帶密封模組相比，上部可以安裝堅(jiān)固的蓋板，使其可以更方便與高壽命的應(yīng)用在激光加工領(lǐng)域或者半導(dǎo)體行業(yè)，內(nèi)部采用了高分辨的編碼器和無(wú)鐵芯的直線電機(jī)，使運(yùn)動(dòng)可以更佳的順滑和平穩(wěn)，高精度等級(jí)的線性導(dǎo)軌使其機(jī)械運(yùn)動(dòng)的參數(shù)也極為優(yōu)異。整體的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度可控制在2um以內(nèi)，整體運(yùn)行直線度5um以內(nèi)。

多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，X軸驅(qū)動(dòng)采用直線電機(jī)加高分辨率編碼器，高精度等級(jí)的線性導(dǎo)軌，采用精度和耐用穩(wěn)定性并存的大理石平臺(tái)作為底座。行程600mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程10um以內(nèi)。Y軸驅(qū)動(dòng)方式與X軸相同，行程260mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機(jī)加高分辨率光柵編碼器的全閉環(huán)控制方案，通過(guò)特殊的內(nèi)部傳動(dòng)結(jié)構(gòu)使電機(jī)外置，保證精度的同時(shí)也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復(fù)定位精度3um，補(bǔ)償后定位精度5um以內(nèi)。旋轉(zhuǎn)軸可連續(xù)360°，重復(fù)定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運(yùn)行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺(tái)可應(yīng)用于半導(dǎo)體等對(duì)精度有一定要求的行業(yè)。

XY精密滑臺(tái)

Awooe-XY精密滑臺(tái)是一個(gè)集成XY線性電機(jī)位移臺(tái)，旨在消除單個(gè)X級(jí)和Y級(jí)的集成，并提高系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)應(yīng)用剛度。它的特點(diǎn)是行程范圍為 100mm，X軸和Y軸之間具有精確的正交對(duì)準(zhǔn)，是精密工業(yè)應(yīng)用的理想解決方案，X/Y重復(fù)定位±0.5μm、定位精度（含補(bǔ)償）±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s