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全封閉直線電機(jī)模組

行程（可定制）800mm的直線電機(jī)全封閉模組。采用獨(dú)特的密封方案，與傳統(tǒng)的上部鋼帶密封模組相比，上部可以安裝堅(jiān)固的蓋板，使其可以更方便與高壽命的應(yīng)用在激光加工領(lǐng)域或者半導(dǎo)體行業(yè)，內(nèi)部采用了高分辨的編碼器和無鐵芯的直線電機(jī)，使運(yùn)動可以更佳的順滑和平穩(wěn)，高精度等級的線性導(dǎo)軌使其機(jī)械運(yùn)動的參數(shù)也極為優(yōu)異。整體的運(yùn)動過程中重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度可控制在2um以內(nèi)，整體運(yùn)行直線度5um以內(nèi)。

多軸運(yùn)動平臺

直線電機(jī)驅(qū)動的多軸運(yùn)動平臺，X軸驅(qū)動采用直線電機(jī)加高分辨率編碼器，高精度等級的線性導(dǎo)軌，采用精度和耐用穩(wěn)定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程10um以內(nèi)。Y軸驅(qū)動方式與X軸相同，行程260mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機(jī)加高分辨率光柵編碼器的全閉環(huán)控制方案，通過特殊的內(nèi)部傳動結(jié)構(gòu)使電機(jī)外置，保證精度的同時也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復(fù)定位精度3um，補(bǔ)償后定位精度5um以內(nèi)。旋轉(zhuǎn)軸可連續(xù)360°，重復(fù)定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運(yùn)行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應(yīng)用于半導(dǎo)體等對精度有一定要求的行業(yè)。